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FFU是什么?以及它的特点?

作者:碧海  |  时间2020-09-08 15:35  |  查看:

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FFU(Fan Flter Units)是风机和过滤器的组合,也可以标为“自带风机的过滤设备”。
FFU通常安装在洁净室的送风末端一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,
下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,
为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力,还要克服整个循环风听有通道部件的阻力,
从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便,风速调节灵活,洁净区易于变更等持点,因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。
FFU具有特点:
第一:灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且随着半导体工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来第二次投资。
第二;可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次作用。
第三:负压通风,这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
第四:缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能,
第五:减少运行成本。虽能在选用FFU时,初期投资比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。